Thèse soutenue le 29 octobre 2003 pour obtenir le grade de docteur de l'Université Joseph Fourier - Grenoble I - Spécialité : Microélectronique

Résumé :
L'utilisation de nano-structures dans des dispositifs optiques ou électroniques est pressentie comme une solution aux limites des technologies micro-électroniques actuelles. Mais l'utilisation des propriétés physiques de ces nano-structures présuppose un contrôle collectif de la taille de la densité de ces objets. Ce travail étudie la possibilité d'organisation contrôlée de nano-structures par des champs élastiques périodiques. Ces champs élastiques sont induits par des réseaux de dislocations enterrés, créés par collage moléculaire Si/Si. Nous avons montré que l'organisation directe par épitaxie des nano-structures n'est pas possible, mais qu'en utilisant une gravure chimique sensible aux champs élastiques, il était possible de définir une surface structurée à l'échelle nanométrique de manière bien contrôlée. Ce nouveau type de surface a ensuite été utilisé comme gabarit pour la croissance de nano-structures de germanium, ce qui a montré son efficacité en termes d'organisation.

Jury :
Président : Prof. Joël Chevrier
Rapporteur : Dr Jürgen Härtwig
Rapporteur : Dr Didier Stiévenard
Examinateur : Dr Margrit Hanbücken
Examinateur : Dr Hubert Moriceau
Examinateur : Prof. Georges Bremond
Directeur de thèse : Dr Joël Eymery
Co-directeur de thèse : Dr Noël Magnea

Mots clés :
Silicium, germanium, contraintes, calculs d'élasticité, organisation, réseaux de dislocations, structuration de surface, GIXRD, GISAXS, STM

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