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Valier Poydenot

Boîtes et fils de Ge sur Si(001) ordonnés à longue distance par des réseaux de dislocations de flexion

Publié le 14 décembre 2005


Thèse soutenue le 14 décembre 2005 pour obtenir le grade de docteur de l'Université Joseph Fourier – Grenoble 1 - Spécialité : Physique

Résumé :
L'élaboration de nanostructures semi-conductrices ordonnées, contrôlées en taille et en position, est un enjeu technologique important pour satisfaire les besoins de miniaturisation des circuits actuels de la micro/nano-électronique. Dans cette thèse, une méthode originale d'organisation latérale de nanostructures a été explorée et appliquée au cas de nanostructures de germanium épitaxiées sur silicium (001). Cette technique utilise un réseau de dislocations de flexion proche de la surface libre du substrat, obtenu par collage moléculaire. Un champ de déformation élastique, périodique, se propageant de l'interface de collage jusqu'à la surface des échantillons, nous avons pu obtenir une croissance organisée de nanostructures de germanium.

Jury :
Président : Jean-René Regnard
Rapporteur : Nicolas Grandjean
Rapporteur : Gilles Patriarche
Examinateur : Vinh Le Thanh
Directeur de thèse : Jean-Luc Rouvière
Co-directeur de thèse : André Barski

Mots clés :
Collage moléculaire, épitaxie par jet moléculaire, silicium, germanium, nanostructure, microscopie électronique en transmission, champs de déformation

Thèse en ligne.