Nous avons réalisé une pompe métal-semiconducteur qui combine la simplicité et l'efficacité des pompes à blocage de Coulomb métalliques avec les performances inégalables des transistors silicium CMOS. Le pompage a été démontré à 650MHz à T=0,5K, avec une incertitude relative meilleure que 5x10
-4. Les pompes à base de transistors nanofils à deux grilles ont été réalisées avec le CEA-Leti sur 300mm. Cette pompe est un candidat idéal pour les instituts de métrologie, pour réaliser et partager le futur ampère quantique.
Puces d'un substrat 300mm intégrant les pompes à électrons.
Ce travail a été réalisé en collaboration avec le CEA-Leti/DCOS/LDI.